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管式炉的真空系统你是否有所了解呢?

作者:admin 发布时间:2019-08-02 09:08

  管式炉的独特设计能够实现在真空保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧★△◁◁▽▼▼▼▽●▽●化碳、氨分解气等☆△★▽…◇◆▲■气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降 温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要。

  立式管式气氛炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀◇…=▲膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。

  真空管式炉现已不再生疏,根柢样式为周期作业式,一般工◆◁•矿企业,实验室,科研单位等运•●用真空管式炉△▪▲□△进行小型钢件的淬火,退火及▷•●回火等加热用。

  真空管式炉断章取▼▲义,不能短少的是真空系统,一般真空管式炉的真空系统应具有:快速将真空管式炉的真空度抽到规矩要求,能及时清扫被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体,并且真空机组占地面积小,作业安全可靠,操作简练三个要求。

  由于管式炉的种类是比较多的,并且每个对真●空管式炉()的真空系统要求都是不一样的,所以咱们就真空度而言,有低真空,中真空,高真•□▼◁▼空三个系统。下面来详细说下这三个线、低真空系统

  真空管式炉的低真空▪▲□◁系统适用于△▪▲□△规划的真空管式炉,如预抽低真空井式炉,大多以油封式旋转机械泵▲★-●为主泵。

  中真空系统适用于真空度在规划的真空管式炉,中真空系统在真空管式炉的运用中是比较广泛的,一般由两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵或油增压泵。

  高真空系统一般由三级真空泵机组组成,主泵一般选用油涣散泵,离子泵,初级泵大都◇=△▲也★-●=•▽是选用旋转▪•★机械或滑阀式机械泵。真空管式炉的真空系统咱们是否有所了解呢?咱们可以做个参看,然后依据自己的需求来挑选合适的真空系统。

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